普渡大学研发出嵌入芯片内部的微冷却系统 |
发布时间:2017/11/15 浏览次数:5216 次 来源:航天动力技术研究院 陕西航天科技集团有限公司 航天四院 作者: |
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常规的芯片冷却方法使采用散热器金属板,将其连接在芯片顶部引出热量实现散热。因此当多芯片堆叠时,底部芯片产生的热量就无法有效排除,只能牺牲功率运行;无法排除的热量甚至还会损坏芯片内部电路。该系统的的出现很好地解决了这一问题。
该系统结构为分层式多通道微通道散热器阵列,可实现极高的除热速率。具体来说,是直接在芯片硅衬底上刻蚀出宽度15微米、深度300微米的微通道,并利用特殊“分级”歧管,向微通道中均匀注入液体冷却剂。因此,液体冷却剂直接嵌入芯片堆栈内,直接参与芯片热流循环,芯片工作时,液体冷却剂以沸腾形式带走热量,实现冷却。该系统采用了hfe-7100商业冷却剂,为电绝缘流体,不会在电子设备中引起短路。此外,在芯片衬底刻蚀微通道的方式,既可减少由于接触和导电电阻引起的寄生热阻,还将芯片表面分割成具有高纵横比微通道的多个较小的散热元件,确保液体冷却剂的有效流动长度。 |
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